【뉴스퀘스트=황재희 기자】삼성전자와 세계 최대 반도체 장비회사 ASML의 공동연구개발(R&D)센터 건설 계획이 제 3의 후보지를 찾는 등 전면 재검토 되고 있는 것으로 알려졌다. 

22일 업계에 따르면 ASML은 동탄2신도시 내 약 1만9000㎡ 부지(6필지)에 조성될 예정이었던 부지를 매각하고  있다. 당초 계획한 동탄 연구소 설립이 사실상 무산된 셈이다. 이는 삼성이 ASML로부터 들여오기로 한 최첨단 EUV(극자외선) 노광장비 구매 계획에 변화가 생겼고, 최근 세계 관세전쟁 등 불확실성이 영향을 미친 것으로 분석된다.

다만 양사는 공동연구센터 계획을 아예 철회하는 것 보다 삼성전자의 기존 사업장내 부지를 활용하는 방안 등을 검토할 것으로 알려졌다. 

삼성전자 내부 사정을 잘 아는 관계자는 "트럼프의 관세 불확실성 등으로 인해 ASML도 관련 투자에 대해선 신중하게 재검토를 하는 것 같다"면서 "다만 반도체 제조업체인 삼성과 장비업체인 ASML과의 관계를 고려하면 양사의 협업은 어떤 식으로든 지속될 수 밖에 없다"라고 말했다.  

실제 삼성전자와 ASML은 떼려야 뗄 수 없는 사이다. ASML은 전 세계에서 유일하게 10나노미터 이하 초미세 반도체 회로를 구현할 수 있는 노광 장비를 만드는 곳이고, 삼성전자는 초미세공정 수율 확보 등 기술 고도화를 위해 전략적 파트너로서 ASML과의 협업이 중요하기 때문이다. 

또  ASML은 트럼프가 첨단 반도체 장비에 대한 대중 수출 규제를 강화하면서 중국으로의 수출길이 막힌 상황이다. 삼성전자와의 협업을 통해 고객사의 첨단 EUV 장비 활용도를 극대화해 시장 불확실성을 대비할 필요성이 커졌다. 

양사의 공동 연구개발센터의 최적 후보지로 거론되는 곳은 기흥이다. 삼성전자는 미래 반도체 기술 경쟁력 확보를 위해 총 20조원을 들여 기흥에 10만9000㎡(3만3000여평) 규모로 대규모 복합 연구개발 단지인 NRD-K를 짓고 있다. 지난해 11월 기흥에서 열린 첫 설비 반입식에는 ASML 한국 지사장도 참석한 것으로 알려졌다.

삼성전자는 기흥 NRD-K 에 차세대 반도체 개발에 활용할 고해상도 EUV 노광설비 등 첨단 장비 인프라를 도입한다는 계획을 가지고 있다. 앞서 경쟁사인 TSMC가 지난해 ASML로부터 차세대 EUV 노광장비를 공급받고 올해 2나노 칩을 생산하기 위해 속도를 내고 있는 상황.  2나노 수율 확보에 사활을 건 삼성전자 역시 올해 ASML과의 협력이 그 어느때보다 중요한 시기다.

반도체 업계 관계자는 "EUV 장비 반입이 이뤄지면 유지, 보수 등도 지속 필요하기에 ASML의 연구진들이 기흥에 상주할 가능성이 높다"라며 "삼성전자가 초미세공정 장비를 개발하는 ASML과 긴밀히 협력하면 기술 고도화 등에 시너지를 낼 수 있을 것"이라고 말했다. 

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